专利摘要:

公开号:WO1992015040A1
申请号:PCT/JP1992/000171
申请日:1992-02-19
公开日:1992-09-03
发明作者:Shigeru Hirai;Youichi Ishiguro;Yasuji Hattori;Masayuki Nishimura;Masayuki Shigematsu;Minoru Watanabe;Kouji Nakazato
申请人:Sumitomo Electric Industries, Ltd.;
IPC主号:G02F1-00
专利说明:
[0001] 明 細 香
[0002] 発明の名称
[0003] '為 光アイソ レータ
[0004] 穽明の詳細な锐明
[0005] 産業上の利用分野
[0006] 本発明は、 半導体'レーザを いた光ファイバ通ほや光ディ スクの 入出力等における光学系の反射芪り光を阻止するための光アイソ レ ータに し、特に入射光の偏光方向に影響を受けず、また温度及び光 の波長の変動に憨応しない偏光無依存型のアイソ レータに関する。 従来の技術
[0007] 光フアイ ハ'通信や光ディスクの入出等の主要な光源である半導体 レーザでは、 それに钴合される光ファイバの端面や、 光ファイバ同 士の接铳点、 あるいは铕合レンズ、 光コネクタ等の光学系からの ¾ 射戻り光を受けると発振が不安定になり、 雑音の增加ゃ出力変動等. 動作特性が大幅に劣化することが知られている。 この反射光による 半導 レーザの動作不安定性を解消し、 安定な光通信用光瀛を実現 するために、 これまでに各種の光アイソレ一タが開発されている。 偏光子,検光子としてロー 'ン 3 ン · プリズムを用い、 Y I G (イ ツ ト リゥム鉄ガーネツ ト)単結 ftや B i置換ガーネッ ト等のファ ラデー 回転子、 このフ 7ラデー回転子を頫方向に磁化するための S mC oな どの孔あき永久 '磁石を用いて構成した光ァイ ソ レータが一般に広く 知られているが、 のような構成の光ァイソレ一夕はある儇光面し か有効でなく、 光アイソレータの偏光方向に合致しない光が入射し た場合には通通光が大轜に損失するという欠点があつた。 これに対 して、 例えば、 光アイ ソ レータを光ファイバ Mに禅入して使用する 場合には、 光フアイバ中を伝搬する光ビームは一般に直搽儡光が保 たれていないので、 偏光依存性のない光アイソレータが望ましい。 そこで、 傷光方向に依存せずに全ての傷光面に対してアイソ レー シ s ン効果を示す構成として、 α—ショ ンプリ ズムの代わりに方解 ' 石のような平扳状祺屈折結 aによる常光,異常光の分離/合成を利 用した循光無依存型の光アイソ レータが提案されている。 例えば、 松本氏が提案した特開昭 δ 5— 22729号公報には、 レンズ、 第 1の平板状複屈折結 fl、 1個の磁気光学材料(ファラデ一回転子)、 旋光性 iiffi (または異方性結愚)、 および第 2の平板状 ¾屈折桔晶を 入射側から顧次一列に Sし、 磁気光学材料を磁化するための永久 磁石を有する光アイソ レータ^されている。
[0008] だが、 特開昭 55— 22729号公報で ¾案されたような従来構 成の光アイツレータは Λ度及び光の波長の変動に敏感で、 逆方向か らの戻り光が ii度及び光の波長の変動によってその多くが順方向で の入射点を透通してしまうという童大な欠点があった。 そのため、 そのような欠点を除去するための構成がいくつか提案されている。 例えば、 Chang氏が ¾«した欧州特許広告第 0352002号公報 には、 第 22図に示すように' 5個の平板状複屈折桔 fl (異方性結晶 部材) 152, 156, 160, 164, 168の^接する各 2個の閜 每に 1個ずつ合計 4個のフ ァ ラデー回転子(非可逆性回転子) 154, 158, ί β δ, 166を挿入 E匿して構成した光アイソ レータ i 5 0が示されている。 その第 2,第 3,第 4,第 5の平板状祺屈折結晶 156, 160, 164.168の結 fl光軸方向(ウォークオフ方向) は、 第 1の平板状複屈折祛¾ 152の結晶光軸方向に対してそれぞ れ 135', 180·, 315·,および 90'に方向付けされ、 4個の ファラデー回転子 154, 158, 162, 166は全て同一方向に 偏光面を 45·回転させる。 そして、 第 1〜第 5の平板状祓屈折拮 S 152, 156, 160.164, 168の厚みは、 それぞれ 1 :1. 4 1 :1 :1.41 :2の比率で投定されている。
[0009] このように、 ファラデー面転子の回転および ¾屈折綰 aの方向付 けと厚みの設定により、 逆方向に通過する光線が港度および光の波 長の変動にほとんど釤響を受けないで分離され、 滅少されると記載 されている。
[0010] 発明が解決しょうとする錁韪
[0011] しかしながら、 第 22図に示されるような従来構成光アイソ レー 夕においては、 光铼万向から見た光線の様子を表わす第 2 3図に示 すように、 龐方向の入射光と出射光とが同一直線上から比較的遠く '離れて位 ¾しているので、 光ァイ ソ レー夕に接統するときのコ リメ 一トレンズおよびシングルモー ド光フ プ ィバの軸顆整においてその 調 S範囲が広範囲になってしまって、 組立てが容易でなく組立作業 時 が長くなるというような解決すべき ausがあった。
[0012] 課理を解決するための手段
[0013] 本発明の目的は、 上述の点に ISみて、 入射光の倡光面に依存せず に、 同時に偏光面が出力側で変化(回転)しない高精度な偏光無依存 型の光アイソ レータを ¾供することにある。
[0014] 本発明の今一つの目的は、 上述の点に燔みて、 入射光の偏光面に 依存せず、 また a度及び光の波長の変勤に感応しないことと同時に、 顺方向の入射光と出射光とが同一直線上に一致する高性能な偏光無 依存型の光アイ 'ノ レータを提洪することにある。
[0015] 本発明の他の目的は、 上述の点に鑑みて、 光アイ ソ レータを入射 光線 向に垂直な練に傾斜させて S置させた場合に、 光アイソレー タを出射後の光線を入射光線の延長糠上に近づけることができ、 こ れにより、 コ リメータレンズ、 光ファイバの輮»¾範囲を狭めるこ とができる光アイソレータを提供することにある- 上記目的を逮成するため、 本発明は、 結 fi光釉が表面に対し傾い た第 1の平行平板状複屈折性物貧、 僵光面を回転させるための第 1 のファラデー回転子、 前 第 1の平行平板状複屈折性物質に対し^ 2倍の厚さを有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 1 3 5 ·回転させた钴 光軸を有する第 2の平行平板状筏屈折性物質、 前 IB第 1のファラデ一回転子と逆向きに僵光面を回転きせる第 2の プアラデ一回転子、 前記第 1の平行平板伏複屈折性物質と同一厚さ を有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 9 0 '回転させ た桔 S光軸を有する第 3の平行平板状複屈折性物質、 および前杞第 I と第 2のファラデー回転子を磁化するための永久磁石とを具備し たことを特徼とする。 このような稱成よりなる本発明では、 上記の よ ^に、 第 1のファラデー回転子に対して逆向きに磁化された偏光 面回転用の第 2のファラデー回転子を有しているので、 入射光の徧 光面が第 1のファラデー回転子から作用を受けて 4 5 '回転しても、 次段の第 2のフプラデー回 子による一 4 5 ·の回転により入射時 の偏光面状想に戻される。 従って、 本発明では、 入射光の偏光面が 出射側で実質的に回転せず、 偏光面が保存される。
[0016] また、 上記目的を達成するため、 本発明は、 結 ¾光軸が表面に対 し傾いた第 1の平行平板状複屈折性物質、 權光面を回転させるため の第 1 ファラデ一回転子、 前圮第 1の平行平板状接屈折性物質に対 し > 2倍の厚さを有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 1 3 5 ·回転子させた粽品光軸を有する第 2の平行平板状拔屈折性 物質、 前 IB第 1のファ ラデー回転子と间し'向きに徧光面を回転きせ る第 2のフ 7ラデー回転子、 前杞第 1の平行平板状複屈折性物質に 対し 2倍の厚さを有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 2 7 0 ·回転させた結 ft光軸を有する第 3の平行平板状¾屈折性物 質、 前杞第 2のフプラデー回転子と逆向きに偏光面を回転させる第 3のファラデー回転子、 前記第 2の平行平板伏祓屈折性物質と同— 厚さを有し、 かつ同一方向の結 ft光釉を有する第 4の平行平板状複 屈折性物質、 前杞第 3のファ.ラデー回転子と同じ向きに儇光面を回 転させる第 4のファラデー回転子、 前 §3第 1の平行平板状複屈折性 物質と同一厚さを有し、 かつ罔一方向の钴 a光軸を有する第 5の平 行平板状複屈折性物質、 および前 K第 1から笫 4までのファラデー 回転子を磁化するための永久磁石とを具 fitしたことを特微とする。 このような構成よりなる本発明で'は、 上 !3のように、 順方向に磁化 される一対のファラデー回転子による催光 Sの回転と、 逆方向に磁 化される他の一対のファラデー回転子による偏光面の回転と、 平行 平板状複屈折性物貧の «さが 1 :^ 2: 2 2: 1の割合であること、 その複屈折性物質の铕 ¾光軸の結晶光軸の方向が Ο ' , 1 3 5 ' , 2 7 0 ·, 1 3 5 ·, 0 ·であることにより、 鳜方向の入射光と出射光とが 同一直糠上に一致する。 71
[0017] - 9 - さらに、 上杞目的を逮成するため、 本発明は、 同一の桔晶光軸方 向で互いに向きが逆となるように KSされた平行平板伏複屈折性物 質が 2偭以上ある裱数の «屈折性物質、 ファラデー回転子および磁 石から構成される光ァイソ ータにおいて、 光ァイソ レータ出射後 の光練軌道を A dだけ入射光練軸方向に変位させるように、 前杞同 —の結 ft光軸方向で互いに向きが逆となるように E匿された平行平 板状褸屈折性物質の内の任意の 2個の平行平板状锥屈折性物質の厚 みを各々 Δ ー だけ変化させて投定したことを特¾とする。 ま た、 本発明の好ましい変形例としては、 複数の平行平板状褀屈折性 物質,フ 7 ラデー回転子および磁石から構成される光ァイソレータ において、 前記平行平板状攆屈折性物質の内の 1個の厚みを一 だけ変化させて 定すると两時に、 厚さ の平行平板状複屈折性 物質を前圮ー Δ aだけ変化させた前杞平行平板状複屈折性物質と同 一の結 ¾光軸方向で互いに向きが逆となるように追加配置したこと を特徵とした。 このような構成よりなる本発明では、 同一の粽晶光 軸 で互いに向きが逆となるように 置された 2個の平行平板状 褸屈折性物 Sの厚みを厶 一 だけ変化させて設定するか、 ある いは平行平板状複屈折性物 の内の 1個の厚みを一 Δ aだけ変化さ せて設定すると同時に、 厚き の平行平扳状祓屈折性物質を同一 の結 光軸方向で互いに向きが逆となるように追加 置するように 構成しているので、 光ァイソレータ出射後の光線軌道を Δ (ίだけ入 射光徕軸方向に変化させることができる。 従って、 上圮 — を光ァイソレータの設置傾斜角に応じて適切な植に投定することで、 入射光線軸方向に光ァイソレータ出射後の光線軌道をできるだけ近 づけ、 ほぼ一致させることができる。
[0018] 図面の嬢単な鋭明
[0019] 笫 1図は、 本発明の第一実施例の光アイ ソレータを示す概略構成 図である。
[0020] 第 2図は、 第 1図の祓屈折桔晶における桔晶光軸の方向を示す説 明図である。 第 3図は、 颟方向の入射光搽の伝搬状態を示す斜視図である。 第 4図は、 顺方向の入射光線の伝搬状 ¾を示す斜視図である。 第 5図は、 逆方向の入射光綠の伝搬吠態を示す斜視図である。 第 6図は、 第 3図〜第 5図.に対応する光練軌道の状據を示す図で 第 7図は、 本発明の第一実施例の実 例の構成を示す概略構成図 である β
[0021] 第 8図は、 本発明の第一実施例の光アイソ レー夕を示す概略構成 図である。
[0022] 第 9図は、 第 8図の光アイソ レータにおける複屈折糖 の铕晶光 軸の方向とフ ァ ラデー回転子の偏光面回転方向、 および入射光鎵を 伝搬状 «を光線方向から見た光練の軌 ¾を示す概念図である。
[0023] 第 1 0図は、 第 8図の光アイソ レークの前後における顺方向の入 射光と出射光の軌道上の位 gを示す概念図である。
[0024] 第 1 1図は、 本発明の第二実施例の実 «例の構成を示す概略構成 図 ある。
[0025] 第 1 2図は、 第三実施例の光アイソ レー夕を示す概略構成図であ も。
[0026] 第 1 3図は、 第 1 2図の光アイソレ一タにおける桔品光軸方向と 傷光面回転方向(A )、 および斓方向と逆方向の入射光線の伝搬状態 を光綵方向から見た光練の軌道(B ), (C )を示す概念図である。 笫 1 4図は、 本発明の第三実施例の変形例 1の光アイソレー夕を 示す概¾構成図である。
[0027] 第 1 5図は、 第 1 4図の光アイソレー夕における結晶光軸方向と 偏光面回転方向(A )、 および瓶方向と逆方向の入射光糠の伝搬状態 を光綠方向から見た光綵の軌道(B ),(C〉を示す概念図である。
[0028] 第 1 6図は、 本発明の第三実施例の実験例 1の Rfi構成を示す概 略構成図である。
[0029] 第 1 7図は、 本発明の第三実施例の実験例 2の SS構成を示す概 珞構成図である。 第 1 8図は、 光了イソレー夕と光フアイバとの一般的な配置関係 を示す概略構成図である。
[0030] 第 1 9図は、 光アイ ソ レータの順方向での入射光に対する出射光 の変位の一例を示す光路図である。
[0031] 第 2 0図は、 光ァイ ソ レータの順方向での入射光に対する出射庋 の変化の他の例を示す光路図である。
[0032] 第 2 1図は、 第 2 0図の光アイ ソ レータの詳細な構成( A ) ,結晶 光 tt方向と倡光面回転方向(B )、 および腼方向と逆方向の入射光線 の伝搬状想を光線方向から見た光搽の軌道(C ), ( D )を示す概念図 である。
[0033] 第 2 2図は、 従来の光アイソ レークの入射光搽の伝搬状態を示す 概念図である。
[0034] 第 2 3図は、 従来の光アイソ レ一タの前後における順方向の入射 光と出射光の軌道上の位 Sを示す概念図'である。
[0035] 実施例 以下、 図面を參照して本発明の実施伊 Iを詳細に锐明する。
[0036] 第 1実施例
[0037] 第 1図乃至第 7図に本発明の第 1実施例を示す。
[0038] 第 1図は本発明の一実施例.の光ァイソレータの概略構成を示す。 この光アイソレータは、 第 1平行平板状複屈折結晶 1 1、 第 1 ファ ラデー回転子 1 2、 第 2平行平板状複屈折拮 ft 1 3、 第 2ファラデ 一回転子 1 4、 および第 3平行平扳状榷屈折結晶 1 5をこの腼序で 入射光の入射方向に沿つて E列した構成のものであり、 上杞ファラ デ一回転子 1 2 , 1 4を互いに異なる方向に磁化する永久磁石 1 6 , 1 7も有する。 平行平板状複屈折結 fir 1 1 , 1 3, 1 5としては方解 石板の他にルチルなどの各種の褸屈折性粽 fi物質が利用できる。 フ, ラデー回転子 1 2 , 1 4 としては Y I G (イ ッ ト リウム鉄ガーネッ ト〉 単转晶, B i 換ガーネツ ト, R I G (希土額跌ガーネツ ト)などの各 -種の磁気光学材料が利用できる。 また、 永久磁石 1 6 , 1 7 として は例えば S n C 0などの環状の孔あき永久磁石等が利用できる。 P92/00171 一 1 5 - 第 1平行平板状複屈折梂晶 1 1は結 fi光軸が表面に対し約 4 5
[0039] 前後傾いている。 第 2平行平扳状複屈折結 ft 1 3は第 1平行平板状 複屈折拮 fl i 1の厚さに対し^ 2倍の厚さを有し、 かつ自らの平行 平板面に対して垂直な軸の回りに 1 3 5 '回転させた結 ft光軸を有 する。 第 3平行平板状锥 ffl折拮 ft 1 5は第 1平行平板状接屈折結晶
[0040] 1 1の厚さと ( じ厚さを有し、 かつ自らの平行平板面に対して垂直 な の回りに 3 0 '回転させた拮 fi光軸を有する。 第 2図は平行平 板に投彭したそれぞれの弒 ja光輪の向きを表わす β また、 第 1 ファ ラデー回転子 i 2は傷光面を 4 5"回転させるのに対し、 第 2ファ ラデー回転子 1 4は第 1ファラデー回転子 i 2と逆向きに偏光面を 一 4 5 ·回転させる。 このため、 永久磁石 6 , 1 7の磁化方向は第
[0041] 1図の H 1, H 2で示すように逆向きとなっている。
[0042] 第 3図および第 4図は、 第 1図の光アイソレー夕において瓶方向 の入射光線の伝搬伏想を追跡したものである。 第 3図は X軸方向の 偏光面を有する入射光線が颟方向に入射した場合を示しているが、 第 Γファラデー回転子 1 2で偏光面が 4 5 '回転されても、 第 2 ファ ラデー回転子 1 4で一 4 5 ·回転されて偏光面が元の入射時の状態 に戾されるので、 出射倒の俑光面は入射光の偶光面と同一の X方向 となる。 第 4図は Υ輓方向の.儻光面を有する入射光練が瓶方向に入 射した場合を示しているが、 第 3図の場合と同様に、 出射側の偏光 面は入射光の傳光面と同一の Υ軸方向となり、 Λ光面保守が確実に 逮成される。 この性質は全ての傷光に対して成立することは明らか である。
[0043] 一方、 逆方向では第 5図に示ぎれるように、 常光,異常光の 2つ の價光成分は互いに分離し、 中心線からある钜離 (分 Κ¾離)だけ大 幅に変位することから入射側の光練径路内には桔合されない。 すな わち、 常光',異常光の分 «幅は従来通りに大きいので、 入射側から 入った出射側でも中心線上には結合されない。 第 6図はこのときの 光線轨道上の光ビームの位 g (A )と傳光方向の状態を示し、 (B〉は 笫 3図に対応し、 (C )は第 4図に対応し、 (D )は第 5図に対応する。 次に、 本発明に従う具体的な実驗例について第 7図を用いて锐明 する。 複屈折結晶としてルチル結晶を用いたルチル平行平板 1 1, 13, 15の厚さは、 それぞれ 2mm、 2.828 no. 2 mmとした。 ファ ラデー回転子 1 2, 1 4とし.て Y I G単铕 ffiを用い、 第 2ファ ラデ 一回転子 14において逆方向に偏光面を回転でき得るように第 2永 久磁石 1 7の磁化の方向を第 1永久磁石 1 6とは逆方向にして配置 した。 入射側と出射側の光ファイバ 1 8, 2 1としてシングルモー ド型の定傷波光ファイバを用いた。 これらの光ファイバ 1 8, 2 1 の先端面と光アイソ レータとの間に3 リメ一夕レンズ 1 9, 20を した。 以上の構成の光アイ ソ レータにおいて、 定碾波光フアイ バ 1 8から入射光として種々の偏光した光を入射させたところ、 偏 光の偏光面 (偏波面〉が光ァイ ソ レータ透通後もまったく変化しない ことが確かめられた。 また、 透過特性を ff価したところ、 順方向揷 入損失は一 1.5dB、 アイソ レーシ 3 ン(逆方向損失,消失比)は 5 6dBが得られ、 実用上十分な特性があることが確認された。 以上鋭明したように、 第 1実施例によれば、 互いに逆方向に偏光 面を回転する一対のファラデー回転子を複数の平行平扳状複屈折性 物質間に して構成したので、 入射光の偏光面に依存しないと同 時に、 佴光面が出射倒で変化しないという効果が得られる。 従って、 本発明の光ァイソレータを例えば定催眩光ファイバ閱に使用すれば、 光ファイバの光線方向を軸とする回転顯整に手間をかける必要がな くなり、 作案コス トの低弒等の利益が得られる。 笫 8図乃至第 i 1図に本発明の第 2実施例を示す。
[0044] 第 8図は本発明の第二実施例の光ァイソレータの概略構成を示す。 この光アイソレ一タ 31は 5個の平行平板状複屈折钴晶 32,36, 40,44,48とこれらの複屈折铕 I Mに 1偭づっ挿入配置された 4偭のファラデー回転子 34, 38, 42, 46およびこれらにファ ラデー回転子を磁化する永久磁石 50, 50とから構成され、 それ らの平行平板状複屈折結晶とファラデー回転子は一直線上に一列に 配列される。 平行平扳状褸屈折結晶 32, 36, 40, 44, 48とし て方解石板の他にルチルなどの各種の褀屈折性物質が利用できる。 フプラデー回転子 34, 38, 42, 46としては Y 1 G (イ ツ ト リウ ム鉄ガーネッ ト)単 ^β、 BiS換ガーネッ ト、 R I G (希土類鉄ガ ーネッ ト)などの各種の磁気光学材料が利用できる。 また、 永久磁 石 50, δ 2としては例えば S eCoなどの現状の孔あき永久磁石等 が利用できる。
[0045] 第 9図の上段部分(A)に示されるように、 龐方向の入射位置に 置される第 1の平行平板状複屈折結晶 32は桔晶光軸が表面に対し 約 45'前後傾いている。 次の第 2の平行平 «状«屈折铕¾36は 第 1の平行平板状複屈折铕 S32の厚さ aに対し ^2倍の厚さ/" 2 を有し、 かつ自らの平行平板面に対して垂直な軸の回りに、 第 1の 平行平板状複屈折結 1 32の結 II光輔方向に対して 135'回転さ せた方向の桔晶光軸(図中、 矢印で示す〉を有する。 第 3の平行平板 状複屈折轄 ft 40は第 1の平行平板状複鹿折結晶 32に対し 2倍の 厚さ 2 aを有し、 かつ自らの平行平板面に対して垂直な軸の回りに、 第 1の平行平板状搛屈折箱 ft32の結晶光軸方向に対して 270' 回転させた方向の結 '!¾光軸を有する。 第 4の平行平板状 ¾屈折結晶 44は第 2の平行平板状複 S折結晶 36と同一厚さ^ 2 aを有し、 かつ同一方向 U 35·〉の糖 fl光軸を有する。 第 5の平行平扳状複 屈折袪 β 48は第 1の平行平板状複屈折钴 ft 32と同一厚さ aを有 し、 かつ同一方向の lift光軸を有する。 すなわち、 第 1〜第 5の平 行平板状複屈折铕 2, 36.40, 44, 48の厚さは 1 : 2 :2 :Γ2: 1の比率に投定され、 その桔晶光軸の方向は 0·, 135β, 2
[0046] 70·, 135', 0'に ¾定される。
[0047] 笫 1と第 2のファラデー回転子 34と 38はともに永久磁石 50 により瀕方向 H 1に磁化きれて、 光の ffi光面を 45'回転させるの に対し、 第 3と第 4のファラデ一回転子 42, 46はこれらと逆向 きにともに永久磁石 52により逆方向 H 2に磁化されて、 光の儇光 面を一 45·回転させる《 171
[0048] - 2 1 - 笫 9図の部分(B)の中段および下段部分(C)は入射光線の伝搬状 態を追跡したものであり、 光轹方向から見た光線の軌道を示す。 第
[0049] 9図中の〇印は光練を表わし、 その面積の连いは強度の違いを示す。 第 9図に示す様に、 湿度及び光の波長の変動によって上 2各ファラ デ一回転子における傷光面の回転角が理想的な角度 45' (または一 45·)から df (または一 df)だけずれたとしても、 全体の珙差角は栢 殺によりほぽ (一 df— df + df + df« 0) ' なるので、 比較的低い順 方向揮入損失および比較的高いアイ Vレー 'ン, ンを常に保持するこ とができる。
[0050] また、 第 9図から必要な郁品のみ抽出した第 1 0図に示すように、 光ァイソレータ 3 1の前後において順方向に関して出射光 Bは偏光 面の方向のいかんにかかわらず、 入射光 Aの延長棟上にあることが 分かる。
[0051] 更に、 4個のファラデー回転子 34, 38, 42, 46において、 各 2個が逆方向に偏光面を回転させるので、 光アイソレータ 3 1を 透適しても光の儇光面が保持される。
[0052] 次に、 本発明に従う具体的な実験例について第 1 1図を用いて锐 明する。 平行平板伏複屈折拮 S32, 36, 40, 44, 48としてル チル桔 ftのルチル平行平板^用い、 それらの厚みをそれぞれ、 1 , 6M、 2.263M、 3.2an、 2.623 αη 1.6 maとした。 また、
[0053] 45 ·偏光面回転用ファラデー回転子 34, 38'として Y I G単結晶 を使用し、 一 45·偏光面回転用ファ ラデー回転子 42, 46として (GdLuBi)I G単緒 ftを使用した。 また、 シングルモード型光フプ ィバ 54, 60と光アイソレータ 3 1との間にマイクロレンズ 56,
[0054] 58を S置した。
[0055] 以上の構成において、 入射倒光ファイバ 54からシングルモ—ド の光蟓を入射させたところ、 出射光が入射光とほぽ同一直線上に得 られることが確かめられた。 また、 透通特性を鲆価したところ、 室 温 20でにおいて朧方向挿入搔失は一 2, OdBアイソ レーシ sン(逆 方向損失)は 65dBが得られた。 更に、 40で付近までほぼ同じァ JP92/00171
[0056] - 2 3 - ィ ソ レーシ s ンが保持されたことが確認された。 また、 光ファイバ 5 4から入射光として種々の偏光した光を入射したところ、 俑光面 が光アイソレ一タ透通後もまったく変化しないことが確かめられた。
[0057] このように、 光ァイ ソ レータ 3 1の入射光と出射光とがほぼ同一 直練上にあるので、 レンズ 5 6 , 5 8および光ファイバ 5 4 , 6 0の 位置翻整を比較的狭い範囲で于なうだけで済み、 短時 Wで組立を完 了することができた。
[0058] 以上锐明したように、 第 2冥施例による光ァイ ソ レータは、 偏光 面に依存せず、 かつ湿度及び光の波長変動からの特性への影響が少 ないという利点に加えて、 順方向の入射光線と出射光糠の位 ftが同 —直緣上でほぼ一致するという効果が得られる。 従って、 第 2実施 例によれば、 光学回路中へ本発明の アイソ レータを掸入投置する 際に、 特別精密な光軸 »整を行う必要がなくなり、 本来の性能が簡 単に得られる。
[0059] 第 3実施例 第 12図乃至第 21図に本発明の第 3実施例を示す。
[0060] 第 12図は本発明の第 3実施例の光ァイソレ一タの概略構成を示 す。 この光アイソレ一タ 70は 4個の平行平板状摟屈折結晶 72, 76, 80, 82と、 2俚のフクラデー回転子 74, 78と、 これら のフ 7ラデ一回転子を磁化するための永久磁石 84とから構成され ている。 笫 1のフ 7ラデー回転子 74は第 1と第 2の平行平板状複 屈折結晶 72, 76の Wに揷入 ¾61され、 第 2のファラデー回転子
[0061] 78は笫 2と第 3の平行平椟状祓屈折結 ft 76, 80の Wに挿入投 度されており、 これらフ プラデー回転子 74, 78は偏光面を同一 の反時計方向に 45·回転する。 平行平板状褀屈折粽 ft72, 76,
[0062] 80, 82としては方解石板の他にルチルなどの各種の祓屈折性結 晶物質が利用できる。 ファラデ一回転子 74, 78としては Y I G (ィ ツ トリウム鉄ガーネッ ト)単結晶、 Bi置換ガーネツ ト, R I G (希土 類鉄ガーネッ ト)などの各種の磁気光学材料が利用できる。 また、 後述の永久磁石としては例えば SeCoなどの環状の孔あき永久磁石 0171
[0063] -25 - 等が利用できる。 、
[0064] 第 1 3図の(A)に示されるように、 第 1〜第 4の平行平板状複屈 折結晶 72, 76, 80, 82の厚み tはそれぞれ a— Δ a, " 2 a,厶 a, a の大きさであり、 それらの fftの結晶光軸方向の向きは, 0·, 1 3 5', 1 80*.270·に設けられている。 このように、 光線の入射 側端部にある第 1の平行平板状複屈折結 fl 72の厚みを所定の厚さ 一 Δ8だけ減少させるのと同時に、 この第 1の平行平板状複屈折桔 晶 72と問一の祛 ft光釉方向で向きが反対である厚さ の第 3の 平行平板状複屈折結晶 80を追加 して構成している。
[0065] 第 14図は本発明の第 3実鉋例変形例 1の光ァイソ レータの概略 構成を示す。 この光ァイソレータ 90は 4個の平行平板状複屈折結 晶 92, 96, 1 00, 104と、 3個のファラデー回転子 94, 98. 1 02と、 これらのフ プラデー回転子を磁化するための永久磁石 8 4とから構成されている。 これらのファラデー回転子 94, 98, 1 02はそれぞれ瞵り合う 2つの平行平板状 ¾屈折桔¾毎に 1個づっ 挿入 £置きれ、 俑光面を同一方闳に 45·回転する β さらに、 第 1 5図の(Α)に示されるように、 第 1〜第 4の平行平扳状複屈折結晶 9 2, 9 6, 1 00, 1 04の厚み tはそれぞれ a十 Aa,^2a, β— Δ 8, V 2 aの大きさであり、 これ の粽 ftの钴晶光軸方向の向きは 0·, 1 35Ί 80*, 225·に設けられている。 このように、 本例では、 同一の桔 ft光軸方向で向きが反対である第 i と第 3の平行平板状複 屈折拮 2, 98の厚みを aから Δβ,— だけ変化させている。 次に、 上述した構成の第 3実施例および変形例 1の光アイソレー タ 70, 90の動作について锐明する。
[0066] 通常、 これらの光アイ ソ レータ本体は、 その本体からの反射戾り 光を防止するため、 第 1 8図に示されるように、 光線方向に対して 垂直に 85置せずに、 ほぼ 2·〜6·程度、 全体に傾斜して配覼してい る。 一例として、 第 1 9図は光アイソレータの一例を示し、 第 20 図は光アイソレータの他の一例を示す。 ここで、 62は入射側光ファ ィバ、 64は入射側コリメートレンズ、 66は光アイ ソ レータ本体、 68は出射側コ リメ一 ト レンズおよび 69は出射側光ファィバであ る。 また、 1 12, 1 14. 1 1 6. 1 1 8はそれぞれ平行平板状複 屈折桔品 (¾CJS折性物質)、 1 20, 1 22, 12 はそれぞれファラ デ一回転子である。 また、 »2 1図は第 20図の光アイ ソレー夕の 詳細な構成と入射光練の伝搬状《8を示している。
[0067] 光ァイソレークにおいて、 入射光線の軌¾を変位させる S因は、 平行平板状複屈折桔晶およびファラデー回転子を光線方向に垂直な 線に対して傾斜させて S匿したための屈折と、 複屈折铕品自体に基 因する屈折とが举げられる。 前者の屈折による変位は 19図およ び第 20図に示されるように、 D,D'で表わされ、 後者の屈折によ る変位は、 第 2 1図に示されるように dで表わされる。 従って、 光 ァイソ レークから出射後の光線が入射光線の延長線上の近傍にある ための条件は次の式(1〉
[0068] (D+d^O) · · · (1)
[0069] となる。 ここで Dは入射光練の方向に垂直な铼に対する傾斜角から -28- 決められ、 dは所望するアイソ レー 'ン s ンの達成が得られるように 決められるので、 従来構成の光アイソ レータでは前述したように一 般に上杞式( 1〉が镩たされないのが通例である。
[0070] しかしながら、 第 12図〜.第 15図に示すような搆成の第 3実施 例の光アイソレー夕においては、 ¾整用の厚み を迪切な儘に変 えれば式(1〉の dをほぽー Dの大きさに変えることができる。 従ゥ て、 式 1を》たすように平行平板状複屈折粽¾ 72 , 80 (または 9 2, 100)の の厚み寸法をあらかじめ所定の住に »整すれば、 光アイ ソ レ一夕 70(または 50)を出射後の光線を入射光練の延長 線上の近傍におく ことができる。
[0071] このとき、 第 13図の(C〉および第 14図(C)から分かるように、 逆方向における光铼分雌幅は、 Δ*«0の時とほぼ変化はなく、 従 来通りの好ましいアイソ レー 'ン 3 ンが得られる。
[0072] 次に、 笫 3実施例に従う具体的な実 例について、 第 1 6図およ び第 17図を用いて鋭明する。 1
[0073] - 29 - 第 16図は第 1 2図および第 1 3図に示した第 3実施例の構成の 光アイ ソ レータ 70を光アイ ソ レータ 70を光アイソ レータ本体と して用いた実驗伊 jの K匿構成を示す。 本実 伊 1では a=2mm,
[0074] 1 οιιηとし、 It屈折铕 ftとしてルチル結晶を用いた。 すなわち、 ルチ ル平行平板 72, 76, 80, 82の厚さはそれぞれ 1 、 2.828
[0075] 、 2n^ l とした。 ファ デ一回転子 74 , 78としては Y I Gフ ァラデー回転子を用い、 これらの回転子を周囲も覆うように円 简伏永久磁石 84を取付けた。 このような構成の光アイソ レー夕 7 0を光ファイバ 85, 88 に 2·傾斜させて配匿し、 コ リ メ一夕レ ンズとして屈折率分布 52口ツ ドレンズであるセルフ * ックマイクロ レンズ(商檬名) 86, 87を光ファイバ 85, 88と光アイ ソ レータ Rflに挿人 Efiした。
[0076] ルチル結晶の屈折率は 2.6であるから、 ルチル平行平板 72, 7 6, 80, 82を 2'傾 させた場合の光線軌道の変位 Dは次の式(2) によりおおよそ 90 inであると推定される。 -30-
[0077] D = 6.4tan(sin2 2.6)= 0.086mm ' * - (2) そこで、 第 16図の構成における Δ aの値として lmmを採用した 塲合は、 第 13図(B〉に示される順方向の変位 Ad=— 76 ^程度 となる。 よ て、 光アイソレータ 70を変位方向に注意して配置し て、
[0078]
[0079] にすることができた。
[0080] 第 17図は第 14図および第 15図に示した変形例 1の構成の光 ァイソレ一夕 90を光アイソレータ本体として用いた実欲例の E置 構成を示す。 本実験例では、 a« "2ina, Δβ一一 liwとし、 ¾屈折 锫晶としてルチル拮 ¾を¾いた。 すなわち、 ルテル平行平板 92, 96, 100. 104の厚さはそれぞれ 0.4 14β,, 2BBI, 2.4 14 mm, 2β«とした。 ファラデー回転子 94, 98, 1 02としては Υ Ι Gフ 7*ラデー回転子を用い、 これらの回転子の周囲を覆うように円 简状永久磁石 84を取付けた。 このように構成の光アイソレータ 9 „
[0081] PCT/JP92/00171 一 3 1 -
[0082] 0を光ファイバ 85, 88 に 6 ·傾斜させて Kgし、 コ リメ一 ト レ ンズとして屈折率分布型口ッ ドレンズであるセルフオ ックマイ クロ レンズ(商樣名〉 86, 87を光フアイパ 8 5, 88と光アイソ レータ
[0083] P に挿入配置した。 上还し^ょうにルチル钴 fiの屈折率は 2.6で ある。 ルチル平行平板 72, 76,80,82の厚みから考えて、 光 ァイソレー夕出射後の光線変位量 d— Δ 1は 303 ほ ぽ 227 «瓤接縻となる(第 1 δ図の(B〉参照)0 また、 ルチル平行 平板 72,76, 80, 82を 6·傾斜させた場合の屈折による光鎵軌 道の変位 Dは次の式 4により約 260 a程度となる。
[0084] D- 9.1 tan(8in6 V2.6)*= 0.257mn · · · (4)
[0085] このように、 光ァイソレータ出射後の光線の変位 Sd— Adと上記 光 »軌道の変位 Dとが间程縻の tになるので、 光アイソ レータから の出射光を入射光の延長線上に近づけることができた。
[0086] 以上鋭明したように、 第 3実施例によれば、 光ァイ ソ レータ出射 後の光線軌道を Δ(1だけ変位させるように、 一対の平行板状褸屈折 結晶の厚みを厶 a,— だけ変化させて設定する、 あるいは 4個の 平行平板状褸屈折桔晶を一 Δ aだけ厚みを変えると同時に Δ aの厚み の平行平板状钹屈折桔 Sを追加 Egするようにしたので、 光ァイソ レータ出射後の光練を入射光線の延畏練上に近づけることができる。 従って、 第 3実施例によれば、 コ リメートレンズ'光フアイバの軸 篛整範囲を狭めることができ、 これにより S整組立時間の短縮が可 能となり、 製品の低廉化に寄与できる効果が得られる。
权利要求:
Claims3 3 - 猜求の範囲
1 . 桔 β光軸が表面に対し傾いた第 1 の平行平板状褸屈折性物質、 偏光面を回転させるための第 1のファラデー回転子、
前圮第 1の平行平板状複 JS.折性物 Κに対し 2倍の厚さを有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 1 3 5 ·回転させた結晶 光軸を有する第 2の平行平板状複屈折性物質、
前杞第 1のファラデー回転子と逆向きに偏光面を回転させる第 2 のフ 7ラデー回転子、
前杞第 1の平行平扳状複屈折性物質と同一厚さを有し、 かつ平行 平板面に対して垂直な軸の回りに 9 0 ·回転させた钴 fl光軸を有す る第 3の平行平板状祓屈折性物質、
および前杞第 1 と第 2のファラデー回転子を磁化するための永久 磁石とを具儂したことを特微とする光ァイ ソ レ—夕。
2 . 铕晶光釉が表面に対し熠いた第 1の平行平板状複屈折性物質、 煩光面を回転させるための第 1ファラデー回転子、 前 Ϊ3笫 1の平行平板状 ¾屈折性物 Κに対し^ 2倍の厚さを有し、 かつ平行平板面に対して垂直な軸の回りに 1 3 5 ·回転させた結 光軸を有する第 2の平行平扳状褸屈折性物貧、
前記第 1のプァラデー回転.子と同じ向きに偏光面を回転させる笫 2のフ 7" ラデー回転子、
前杞第 1の平行平扳状攆粗折性物貧に.対し 2倍の厚さを有し、 か つ平行平板面に対して垂直な釉の回りに 2 7 0 '回転させた拮晶光 軸を有する第 3の平行平板状 «屈折性物貧、
前 3第 2のフ 7ラデー回転子と逆向きに儍光面を回転させる第 3 のファラデー回転子、
前杞第 2の平行平板状複屈折性物 と间—厚さを有し、 かつ同一 方向の結 ft光糠を有する第 4の平行平板状複屈折性物質、
前 3第 3のファラデー回転子と同じ向きに儇光面を回転させる第 4のファラデ一回転子、
前纪第 1の平行平板状 ¾屈折性物貧と同一厚さを有し、 かつ同一 方向の結晶光軸を有する第 5の平行平板状複屈折性物質、
および前杞第 1から第 4までのファラデ一回転子を磁化するため の永久磁石とを具礞したことを特徴とする光ァイソ レ—夕。
3 . 间一の ifiSf ft光軸方向で.互いに向きが逆となるように S2置され た平行平板状複屈折性物 «が 2偭以上ある複数の複屈折性物質,フ 7 ラデー回転子おょぴ磁石から構成される光ァイソ レ一夕において、 光ァイソレ一タ出射後の光線軌道《Δ <1だけ入射光線軸方向に変 位させるように、 前 Ε問一の »*ft光袖方向で いに向きが逆となる ように K匿された平行平板状 ¾屈折性物質の内の任意の 2個の平行 平板伏複屈折性物質の厚みを各々 Δ a,— Δ aだけ変化させて設定し たことを特徵とする光ァイソレータ。
4 . 数の平行平板状複屈折性物質,ファラデー回転子および磁 石から構成される光ァイソレー夕において、
前 β平行平板状複屈折性物質の内の 1個の厚みを一 Δ aだけ変化 させて投定すると同時に、 厚き Δ aの平行平扳状褸屈折性物質を前記一 Δ aだけ変化させた前 記平行平板状複屈折法物貧と同一の結晶光軸方向で互いに向きが逆 となるように追加 fiしたことを特徴とした光ァイ ソ レータ。
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公开号 | 公开日 | 专利标题
US4239329A|1980-12-16|Optical nonreciprocal device
US5982539A|1999-11-09|Optical device
US4464022A|1984-08-07|Optical circulator
US5317655A|1994-05-31|Optical isolator
US6577430B1|2003-06-10|Bi-directional optical switch
EP0421654B1|1994-07-27|Polarization independent optical isolator
JP3316543B2|2002-08-19|光学サーキュレータ
EP0054411B1|1985-10-23|Optical arrangement for optically coupling optical fibres
US4712880A|1987-12-15|Polarization rotation compensator and optical isolator using the same
US6931165B2|2005-08-16|Variable polarization plane rotator and optical device using same
EP0491607B1|1996-07-31|Optical circulator
US5818981A|1998-10-06|Polarization mode dispersion-free circulator
US5067799A|1991-11-26|Beam combining/splitter cube prism for color polarization
US4756607A|1988-07-12|Optical isolator device having two cascaded isolator elements with different light beam rotation angles
EP0574749B1|1996-08-14|Polarization-independent optical isolator
US5446578A|1995-08-29|Polarization preserving optical isolator
CA2195086C|2002-11-19|Polarization-independent optical isolator
US6014256A|2000-01-11|Polarizing beam splitter/combiner
EP1353198B1|2005-08-03|Anordnung zur Polarisation von Licht
US6671094B2|2003-12-30|Composite birefringent crystal and filter
US6631238B2|2003-10-07|Variable optical attenuator
US6175448B1|2001-01-16|Optical circulators using beam angle turners
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US4988170A|1991-01-29|Quasi-achromatic optical isolators and circulators
US7006273B2|2006-02-28|Faraday rotation device and optical device using same
同族专利:
公开号 | 公开日
EP0525208A4|1993-03-31|
CA2080904A1|1992-08-21|
EP0525208B1|1997-05-07|
AU1209192A|1992-09-15|
AU644044B2|1993-12-02|
EP0525208A1|1993-02-03|
US5381261A|1995-01-10|
EP0691563A3|1997-01-15|
DE69219526D1|1997-06-12|
EP0691563A2|1996-01-10|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
JPH0244310B2|1981-12-04|1990-10-03|Japan Synthetic Rubber Co Ltd|Monomatahajechiniruchiofuennoseizoho|
JPH0246419B2|1982-02-26|1990-10-16|Teii Aaru Daburyuu Biikuru Seefuteii Shisutemuzu Inc||
JPH02138715U|1989-04-21|1990-11-20|||US6172735B1|1996-07-11|2001-01-09|Cycolor, Inc.|Method for printing images using a film pack having a perforated flap|US4239329A|1978-08-04|1980-12-16|Nippon Telegraph And Telephone Public Corporation|Optical nonreciprocal device|
JPS5828561B2|1978-08-04|1983-06-16|Nippon Telegraph & Telephone||
JPS5828561A|1981-07-27|1983-02-19|Toyota Motor Corp|Method of controlling internal combustion engine equipped with turbocharger, at deceleration|
JPS6158811B2|1983-12-20|1986-12-13|Fujitsu Ltd||
DE3884421D1|1987-02-17|1993-11-04|Hitachi Metals Ltd|Optischer isolator.|
JP2572627B2|1988-05-13|1997-01-16|ティーディーケイ株式会社|光アイソレータ及び光サーキユレータ|
US4974944A|1988-07-21|1990-12-04|Hewlett-Packard Company|Optical nonreciprocal device|
JPH0244310A|1988-08-05|1990-02-14|Namiki Precision Jewel Co Ltd|Optical isolator|
JPH0246419A|1988-08-06|1990-02-15|Namiki Precision Jewel Co Ltd|Optical isolator|
JPH02138715A|1988-11-18|1990-05-28|Daido Steel Co Ltd|Manufacture of radial anisotropic magnet|
US4988170A|1989-03-31|1991-01-29|Gte Laboratories Incorporated|Quasi-achromatic optical isolators and circulators|
US5052786A|1990-03-05|1991-10-01|Massachusetts Institute Of Technology|Broadband faraday isolator|
JPH03282413A|1990-03-14|1991-12-12|Toyo Commun Equip Co Ltd|Optical isolator|
US5151955A|1990-06-20|1992-09-29|Kabushiki Kaisha Shinkosha|Optical isolator|
US5237445A|1990-11-30|1993-08-17|Shimadzu Corporation|Optical isolator|JP3112212B2|1993-02-17|2000-11-27|住友電気工業株式会社|光アイソレータ|
JP2986302B2|1993-03-10|1999-12-06|松下電器産業株式会社|光アイソレータ|
JP2786078B2|1993-05-14|1998-08-13|信越化学工業株式会社|ファラデー回転子および光アイソレータ|
CA2130873C|1993-08-27|1997-02-04|Dai Yui|Method for assembling optical isolator and method for measuring isolation|
JPH07104225A|1993-10-05|1995-04-21|Mitsubishi Gas Chem Co Inc|ファラデー回転子|
JP3647892B2|1994-01-28|2005-05-18|並木精密宝石株式会社|光アイソレータ|
US5691845A|1994-08-12|1997-11-25|Tdk Corporation|Optical isolator, optical isolator with fiber and method for making the same|
CA2148317C|1995-05-01|1998-05-05|Yihao Cheng|Optical circulator|
US5729377A|1995-12-26|1998-03-17|Lucent Technologies, Inc.|Optical apparatus|
US6049425A|1996-07-02|2000-04-11|Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.|Multiple-stage optical isolator|
US5734763A|1996-09-04|1998-03-31|Hewlett-Packard Company|Compact two-by-n optical components based on bierfringent walk-off crystals|
US5930418A|1997-02-25|1999-07-27|Hewlett-Packard Company|Optical assembly and method based on TEC fibres|
US6026202A|1997-02-25|2000-02-15|Hewlett-Packard Company|Compact, low crosstalk, three-port optical circulator|
US6088153A|1997-06-26|2000-07-11|Scientific-Atlanta, Inc.|Multi-functional optical isolator|
US6002512A|1998-10-20|1999-12-14|Lucent Technologies, Inc.|Optical circulator using latchable garnet|
US6167174A|1998-10-27|2000-12-26|Adc Telecommunications, Inc.|Multiple port, fiber optic isolator|
US6288826B1|2000-01-05|2001-09-11|Jds Uniphase Inc.|Multi-stage optical isolator|
US6567578B1|2000-02-16|2003-05-20|Adc Telecommunications|Fiber optic device operating at two or more wavelengths|
US6532321B1|2000-02-16|2003-03-11|Adc Telecommunications, Inc.|Fiber optic isolator for use with multiple-wavelength optical signals|
US6876480B2|2000-08-11|2005-04-05|Fdk Corporation|Farady rotation device and optical device comprising it|
US6317250B1|2000-09-12|2001-11-13|E-Tek Dynamics, Inc.|Optical isolator using multiple core fibers|
GB2378258B|2001-06-14|2005-03-23|Shinetsu Chemical Co|Optical isolator|
US9022037B2|2003-08-11|2015-05-05|Raydiance, Inc.|Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit|
US8921733B2|2003-08-11|2014-12-30|Raydiance, Inc.|Methods and systems for trimming circuits|
US7763676B2|2003-08-25|2010-07-27|Dow Global Technologies Inc.|Aqueous polymer dispersions and products from those dispersions|
US7474813B2|2003-11-10|2009-01-06|Finisar Corporation|Connector mountable asymmetric free space optical isolators|
US7308171B2|2005-11-16|2007-12-11|Raydiance, Inc.|Method and apparatus for optical isolation in high power fiber-optic systems|
US9130344B2|2006-01-23|2015-09-08|Raydiance, Inc.|Automated laser tuning|
US8232687B2|2006-04-26|2012-07-31|Raydiance, Inc.|Intelligent laser interlock system|
US7903326B2|2007-11-30|2011-03-08|Radiance, Inc.|Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system|
US8498538B2|2008-11-14|2013-07-30|Raydiance, Inc.|Compact monolithic dispersion compensator|
US8884184B2|2010-08-12|2014-11-11|Raydiance, Inc.|Polymer tubing laser micromachining|
WO2012037468A1|2010-09-16|2012-03-22|Raydiance, Inc.|Singulation of layered materials using selectively variable laser output|
US8554037B2|2010-09-30|2013-10-08|Raydiance, Inc.|Hybrid waveguide device in powerful laser systems|
US10239160B2|2011-09-21|2019-03-26|Coherent, Inc.|Systems and processes that singulate materials|
JP2018205586A|2017-06-07|2018-12-27|信越化学工業株式会社|光アイソレータ及び半導体レーザモジュール|
法律状态:
1992-09-03| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AU CA KR US |
1992-09-03| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU MC NL SE |
1992-10-19| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 2080904 Country of ref document: CA |
1992-10-20| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1992905098 Country of ref document: EP |
1993-02-03| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1992905098 Country of ref document: EP |
1997-05-07| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1992905098 Country of ref document: EP |
优先权:
申请号 | 申请日 | 专利标题
JP3/26231||1991-02-20||
JP2623391A|JPH04264516A|1991-02-20|1991-02-20|Optical isolator|
JP3/26233||1991-02-20||
JP2623191A|JPH04264514A|1991-02-20|1991-02-20|Optical isolator|
JP2623291A|JPH04264515A|1991-02-20|1991-02-20|Optical isolator|
JP3/26232||1991-02-20||US07/937,896| US5381261A|1991-02-20|1992-02-19|Optical isolator|
EP19920905098| EP0525208B1|1991-02-20|1992-02-19|Optical isolator|
DE69219526T| DE69219526D1|1991-02-20|1992-02-19|Optischer isolator|
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